Halvlederindustrien kræver den højest mulige renhed for sine grafitmaterialer, især for grafitkomponenter, der kommer i direkte kontakt med halvledermaterialer, såsom korsler og sintrende forme. Overdreven urenheder kan forurene halvledermaterialerne. Derfor er ikke kun renheden af den rå grafit strengt kontrolleret, men den gennemgår også grafitisering af høj temperatur for at minimere askeindhold.
Halvlederindustrien kræver også finkornet grafit. Finkornet grafit er ikke kun lettere at maskine med præcision, men kan også prale af høj temperaturstyrke og minimal slid. Specinske forme kræver især ekstremt høj bearbejdningspræcision. Fordi grafitkomponenter, der bruges i halvlederindustrien (inklusive varmeapparater og sintrende forme), skal modstå gentagne opvarmnings- og kølecyklusser, skal grafitmaterialet udvise fremragende dimensionel stabilitet og termisk stødmodstand ved høje temperaturer for at maksimere deres levetid. Grafit lavet af ualkørt petroleumskoks er et finkornet materiale med høj mekanisk styrke. Det kan bruges i elektroniske produkter, såsom korsler, tynde plader, diske, varmeapparater til vakuum og højfrekvente ovne, varmeskærme, grafitretter til smeltning af rene metaller, gribere (chucks) til eksperimentelt udstyr med høj temperatur, varmpressende dies og filtere. Dette materiale kan fungere ved temperaturer under 2500 grader i inerte eller beskyttende atmosfærer.
Ultra-pure, højstyrke-grafit med et beskyttende lag er fremstillet af almindelig finkornet grafit, der er blevet oprenset og afgasset i et vakuum, efterfulgt af overfladetætning med pyrolytisk kulstof. Disse produkter (varmeapparater, diske, grafitretter osv.) Kan bruges til at dyrke siliciumtynde film ved hjælp af gasepitaksial vækstmetode. Tykkelsen af det fortættede beskyttende lag dannet af det pyrolytiske kulstof er ikke mere end 2 mm. Et tyndt lag pyrolytisk grafit op til 0,1 mm tyk kan også deponeres på overfladen af det densificerede produkt.